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現(xiàn)變成替換體壁段23)移動至噴嘴13下方開展清洗，即自動清洗成功。綜上，在本實用新型所提供的工藝腔體中，通過將所述內層體壁拆分為多個內層體壁段，并在內層體壁**設立替換體壁段，用以適時替換被水污染的內層體壁段，從而可以分批次對內層體壁段開展替換，既不影響生產，也更換了更干凈的內層體壁，縮減了對晶圓的污染，提高產品質量。并且，本實用新型通過在所述軌道段上方設立一個或多個噴嘴，從而實現(xiàn)自動清洗的機能，且不須取出內層體壁段或替換體壁段，將原手動清洗內層體壁轉變?yōu)樽詣痈鼡Q清洗，提高了生產效率。上述實施例*用以示例性地解釋本實用新型的法則及其效用，而非用以限制本實用新型。任何所屬技術領域的技術人員，在不違反本實用新型的精神上及范疇下，均可對本實用新型揭露的技術方案和技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，而仍屬于本實用新型的保護范圍之內。山東特價開體花蘭哪里買開體花蘭生產廠家選哪里好。
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也可以使所述噴嘴13的數(shù)目相等所述替換體壁段23的數(shù)目。一般而言的，所述工藝腔體10內還包括一被轉動軸14承載的吸盤15以及**少三根支撐桿16，三根所述支撐桿16成三角設立于所述吸盤15內，能在所述吸盤15內升高下滑，其中所述轉動軸14帶動所述吸盤15旋轉，所述吸盤15用以吸附晶圓30，三根所述支撐桿16用以便捷所述晶圓30的放置或取出。進一步的，所述工藝腔體10還包括一排水管17和一排氣管18，用以排出所述工藝腔體10內的廢氣和廢水等，所述排水管17推薦設立于所述工藝腔體10的底部，所述排氣管18可以座落所述工藝腔體10的任意位置。所述軌道段12外還設立有一層包裹層19，所述包裹層19用以裹所述工藝腔體10內的所有構造。在一個實施例中，參考圖2，圖2為本實用新型另一實施例提供的工藝腔體俯視圖。例如更換ab段的所述內層體壁段22的步驟如下：s1：將ab段外側的替換體壁段23移動至第二軌道段42上；s2：ab段的所述內層體壁段22移動至***軌道段41上，接著轉動至所述***軌道段41上的bc段或af段；s3：將所述第二軌道段42ab段上的替換體壁段23連續(xù)移動至內層體壁21處，則替換成功；s4：迅速將移動至***軌道段41上的bc段或af段的內層體壁段22。河北廠家開體花蘭訂制價格是多少！河南什么是開體花蘭施工
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所述移動塊帶動各所述承載段和各所述軌道段環(huán)繞所述工藝腔體轉動移動或沿所述工藝腔體中心徑向移動?？蛇x的，在所述工藝腔體中，所述移動塊與任一所述承載段或任一所述軌道段為總體構造。可選的，在所述工藝腔體中，所述軌道段為**少一層設置，所述軌道段的數(shù)目小于所述承載段的數(shù)目，以預留所述承載段的活動位置?？蛇x的，在所述工藝腔體中，所述替換體壁段的數(shù)目為低于或相等所述內層體壁段數(shù)目的一半，且所述替換體壁段的數(shù)目相等所述軌道段的數(shù)目。可選的，在所述工藝腔體中，所述工藝腔體還包括**少一個噴嘴，所述噴嘴設立于所述軌道段的上方。可選的，在所述工藝腔體中，所述噴嘴的數(shù)目相等所述替換體壁段的數(shù)目?？蛇x的，在所述工藝腔體中，所述工藝腔體內還包括一吸盤以及**少三根支撐桿，三根所述支撐桿成三角設立于所述吸盤內，能在所述吸盤內升高降低?？蛇x的，在所述工藝腔體中，所述工藝腔體還包括一排水管和一排氣管，所述排水管設立于所述工藝腔體的底部?？蛇x的，在所述工藝腔體中，在所述軌道段外還設立有一層包裹層。在本實用新型所提供的工藝腔體中，通過將所述內層體壁拆分為多個內層體壁段，并在內層體壁**設立替換體壁段。山西什么是開體花蘭價格
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