氦氣真空漏孔的溯源國內(nèi)開展的比較早也相對成熟一些，各級標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)建立，檢定規(guī)程或校準(zhǔn)規(guī)范也早已頒布。但對其他氣體的校準(zhǔn)還需要完善，并需要對不帶氦氣室漏孔校準(zhǔn)方法和規(guī)范內(nèi)容需要增加氣源方式和要求。該部分標(biāo)準(zhǔn)漏孔量值溯源標(biāo)準(zhǔn)包括相對比較法漏率校準(zhǔn)裝置。應(yīng)為裝置成本和操作性的要求，在計量院和從事真空檢漏量值溯源研究的院所可以采用，對于以開展量值溯源為主要任務(wù)，技術(shù)能級有所欠缺的省市和企業(yè)級別的校準(zhǔn)實驗室建議以相對比較法漏率校準(zhǔn)裝置為主。特別建議采用檢漏儀比對裝置，該裝置操作簡單，成本低等特點，對實驗室應(yīng)該避免采用殘余氣體四極質(zhì)譜分析儀（RGA），因為該儀器悟操作容易造成儀器的損壞，影響工作效率和增加維修成本。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率范圍可滿足不同檢測需求 。浙江可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔壓力

差壓檢漏法差壓檢漏法的原理啟蒙于醫(yī)用天平，它是精確測量微量物品質(zhì)量的測量工具。使用者通過仔細(xì)調(diào)整天平一端的砝碼使兩端達(dá)到嚴(yán)格平衡，這樣被測物的質(zhì)量就可通過砝碼反映出來。差壓氣密檢漏儀的原理同天平一樣，首先我們將相同壓力的氣體同時充入到被測物和基準(zhǔn)物內(nèi)，使差壓傳感器隔離板兩邊的壓力完全相等，然后觀察其平衡情況。若被測物不漏，那么差壓傳感器隔離板兩邊的壓力將保持平衡。如果被測物存在泄漏，那么它內(nèi)部的壓力會逐漸降低，平衡就被破壞。這樣傳感器就可以檢測出隔離板兩側(cè)因泄漏產(chǎn)生的差壓。而且，如果發(fā)生泄漏，泄漏率（ml/sec）的大小將直接反映在兩側(cè)壓力的失衡速度上。鹽城氣密性標(biāo)準(zhǔn)漏孔接口多大標(biāo)準(zhǔn)漏孔的材質(zhì)選擇影響其使用壽命長短 。

JJF 1946-2022 《鹵素檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范》,規(guī)范條文解釋：本規(guī)范適用于可檢漏率為（1.0×10-6 ~1.0×10-4）Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準(zhǔn)，其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規(guī)范執(zhí)行。解釋：與目前鹵素檢漏儀校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器（鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔）的可溯源范圍相適應(yīng)，待發(fā)布的正壓漏孔校準(zhǔn)規(guī)范使用范圍（10-6~10-4）Pa.m3/s，與檢漏儀的實際測量范圍（1-10）g/a對應(yīng)。測量標(biāo)準(zhǔn)：測量標(biāo)準(zhǔn)為提供某種特定鹵素氣體的已知漏率的鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔，如表所示，鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)具有定位槽以便于檢漏儀定位。解釋：通常配備多個標(biāo)準(zhǔn)漏孔，一個標(biāo)準(zhǔn)漏孔對應(yīng)一種示漏氣體，根據(jù)被校檢漏儀選擇相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對離子源電離的氦氣分子數(shù)量進(jìn)行量化，而到達(dá)質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時，這個分流比會有變化，檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個點做出的擬合曲線很難做到符合全量程：例如一臺檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s，說明這臺檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準(zhǔn)確的，可能到E-9就很不準(zhǔn)確。建議用2個標(biāo)準(zhǔn)漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。事實上，包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的，而是用戶購置接近自己工件要求漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)定。如待測工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購置一個接近該漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，經(jīng)過校準(zhǔn)的檢漏儀不需要自檢通過也能準(zhǔn)確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購?fù)庵脴?biāo)準(zhǔn)漏孔，盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率，東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。用戶可選用帶氣室的標(biāo)準(zhǔn)漏孔或開放式漏孔。標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用時需緩慢調(diào)節(jié)壓力避免沖擊 。

滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔是利用氦氣對石英大多數(shù)玻璃或四氟乙烯有高的滲透性這一特性制作。此類型漏孔對污染不敏感；長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定；漏率可以做得很小。滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔的充裝氣體為氦氣，其漏率范圍一般在10負(fù)5-10負(fù)13Pa·m3/s之間。此外，滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔的示值允許偏差為±15%，溫度補償約為3%/°C，并且具有優(yōu)異的抗堵塞能力和長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定的特性，出口閥門為手動(選配)，接口為KF25/M14*1.5(內(nèi))或定制，出口為真空，可重復(fù)充氣。年衰減率根據(jù)漏率的不同而有所差異，例如，對于10-7Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于10%/y;對于10-8Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于3%/y;以此類推，直到10-12Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于0.1%/y。標(biāo)準(zhǔn)漏孔能驗證各類檢漏方法的可靠性。冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔

標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率偏差需把控在允許范圍內(nèi) 。浙江可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔壓力

標(biāo)準(zhǔn)漏孔是漏率溯源標(biāo)準(zhǔn)的總稱。根據(jù)不同應(yīng)用行業(yè)，不同檢漏儀器類型漏孔種類繁多，分類方式也多種多樣。漏率范圍也從微漏率10-13Pa.m3/s的氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔到做泄漏標(biāo)準(zhǔn)用的10NL/min空氣壓差漏孔,范圍寬廣。標(biāo)準(zhǔn)漏孔按照對應(yīng)檢漏儀種類來分：真空氦漏孔，冷媒正壓漏孔，空氣壓差漏孔等，分別對應(yīng)氦質(zhì)譜檢漏儀，鹵素（冷媒）檢漏儀，壓差檢漏儀等。按照漏孔元件類型可以分為:滲(氦)透型漏孔,通道型漏孔.其中滲透型漏孔主要用于真空氦漏孔,有玻璃,四氟乙烯等材料.通道型漏孔如金屬毛細(xì)管、拉伸的玻璃毛細(xì)管、金屬壓扁管、粉末燒結(jié)和微孔板等.按照漏孔結(jié)構(gòu)和應(yīng)用又可以分為有源漏孔和無源漏孔.也可以分為定值漏孔和可調(diào)漏孔.所以標(biāo)準(zhǔn)漏孔種類繁多,針對每個產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域都要滿足具體的技術(shù)要求和應(yīng)用場景.本公司長期致力于提供所有檢漏需要的溯源標(biāo)準(zhǔn)(標(biāo)準(zhǔn)漏孔)的解決方案和產(chǎn)品服務(wù).浙江可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔壓力

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