氦氣真空漏孔的溯源國內(nèi)開展的比較早也相對成熟一些，各級標準已經(jīng)建立，檢定規(guī)程或校準規(guī)范也早已頒布。但對其他氣體的校準還需要完善，并需要對不帶氦氣室漏孔校準方法和規(guī)范內(nèi)容需要增加氣源方式和要求。該部分標準漏孔量值溯源標準包括相對比較法漏率校準裝置。應(yīng)為裝置成本和操作性的要求，在計量院和從事真空檢漏量值溯源研究的院所可以采用，對于以開展量值溯源為主要任務(wù)，技術(shù)能級有所欠缺的省市和企業(yè)級別的校準實驗室建議以相對比較法漏率校準裝置為主。特別建議采用檢漏儀比對裝置，該裝置操作簡單，成本低等特點，對實驗室應(yīng)該避免采用殘余氣體四極質(zhì)譜分析儀（RGA），因為該儀器悟操作容易造成儀器的損壞，影響工作效率和增加維修成本。標準漏孔可用于教學實驗中的演示環(huán)節(jié)。湖南滲氦漏孔偏差

JJF 1946-2022 《鹵素檢漏儀校準規(guī)范》,規(guī)范條文解釋：本規(guī)范適用于可檢漏率為（1.0×10-6 ~1.0×10-4）Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準，其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規(guī)范執(zhí)行。解釋：與目前鹵素檢漏儀校準用標準器（鹵素標準漏孔）的可溯源范圍相適應(yīng)，待發(fā)布的正壓漏孔校準規(guī)范使用范圍（10-6~10-4）Pa.m3/s，與檢漏儀的實際測量范圍（1-10）g/a對應(yīng)。測量標準：測量標準為提供某種特定鹵素氣體的已知漏率的鹵素標準漏孔，如表所示，鹵素標準漏孔應(yīng)具有定位槽以便于檢漏儀定位。解釋：通常配備多個標準漏孔，一個標準漏孔對應(yīng)一種示漏氣體，根據(jù)被校檢漏儀選擇相應(yīng)的標準漏孔。昆明氣密性標準漏孔特點標準漏孔使用壓力不能超過額定值 。

不同的氣體對于標準漏孔的泄漏率有著一定影響，通常校準以氮氣或氦氣為介質(zhì)，實際使用時需要根據(jù)檢測氣體的性質(zhì)來進行修正，提高檢測結(jié)果的準確性。標準漏孔的安裝方式應(yīng)該符合操作規(guī)程，以確保連接緊密、無額外的泄漏，避免因安裝不當影響校準或者檢測結(jié)果。部分漏孔的設(shè)計有專屬接口，方便與不同設(shè)備對接。隨著檢漏技術(shù)的發(fā)展，標準漏孔的性能不斷提升，出現(xiàn)了可調(diào)節(jié)泄漏率、智能化監(jiān)控等新型產(chǎn)品，滿足了更復(fù)雜場景下的計量需求。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對離子源電離的氦氣分子數(shù)量進行量化，而到達質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時，這個分流比會有變化，檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個點做出的擬合曲線很難做到符合全量程：例如一臺檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s，說明這臺檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準確的，可能到E-9就很不準確。建議用2個標準漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進行標定。事實上，包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的，而是用戶購置接近自己工件要求漏率的標準漏孔進行標定。如待測工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購置一個接近該漏率的標準漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，經(jīng)過校準的檢漏儀不需要自檢通過也能準確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購?fù)庵脴藴事┛祝M量接近產(chǎn)品合格要求漏率，東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標準漏孔。用戶可選用帶氣室的標準漏孔或開放式漏孔。標準漏孔老化會導(dǎo)致漏率發(fā)生明顯變化 。

氣密性標準漏孔的原理是利用節(jié)流效應(yīng)來實現(xiàn)氣體的泄漏。具體來說，當氣體通過漏孔時，由于孔徑的限制和節(jié)流效應(yīng)的作用，氣體的流量是會受到一定的限制，從而實現(xiàn)氣體上的泄漏。通過來調(diào)節(jié)漏孔的大小和孔徑，可以控制氣體的泄漏速率和流量，從而模擬出不同的氣體泄漏情況?？勺稣龎?真空標準漏孔、響應(yīng)速度快，等待時間短、受外界溫度變化影響小，溫度系數(shù)小于0.5%/℃、耐高溫，耐沖擊，抗震，抗摔，壽命長、支持定制多種規(guī)格接頭，可配置不同品牌設(shè)計、漏率范圍廣，支持漏率定制，支持同時指定漏率和壓力。漏孔檢測前需明確檢測范圍及標準。江蘇全系列標準漏孔接口多大

標準漏孔應(yīng)避免接觸各類腐蝕性氣體介質(zhì)。湖南滲氦漏孔偏差

滲氦型標準漏孔是利用氦氣對石英大多數(shù)玻璃或四氟乙烯有高的滲透性這一特性制作。此類型漏孔對污染不敏感；長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定；漏率可以做得很小。滲氦型標準漏孔的充裝氣體為氦氣，其漏率范圍一般在10負5-10負13Pa·m3/s之間。此外，滲氦型標準漏孔的示值允許偏差為±15%，溫度補償約為3%/°C，并且具有優(yōu)異的抗堵塞能力和長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定的特性，出口閥門為手動(選配)，接口為KF25/M14*1.5(內(nèi))或定制，出口為真空，可重復(fù)充氣。年衰減率根據(jù)漏率的不同而有所差異，例如，對于10-7Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于10%/y;對于10-8Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于3%/y;以此類推，直到10-12Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于0.1%/y。湖南滲氦漏孔偏差

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