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杭州半導(dǎo)體潔凈室

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-08-02

潔凈室的負(fù)荷特點(diǎn)和節(jié)能一般情況下,凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負(fù)荷特點(diǎn)不同。就潔凈室,尤其是半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室而言,其負(fù)荷特點(diǎn)是:由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大,故新風(fēng)處理所需冷量消耗大;送風(fēng)量大,輸送動(dòng)力消耗大,風(fēng)機(jī)管道溫升高;生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量大,消耗冷量大。這三項(xiàng)負(fù)荷之和一般占總負(fù)荷的70%~95%。因此,凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應(yīng)從減少新風(fēng)量(減少排風(fēng)量);控制送風(fēng)量(合理確定換氣次數(shù));充分利用回風(fēng)量;選擇低阻力高效率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機(jī)等入手。在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時(shí)盡可能把相同級(jí)別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設(shè)置在上風(fēng)側(cè),把產(chǎn)生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設(shè)備、容器盡可能放在潔凈區(qū)外,若必須放在潔凈區(qū)內(nèi)時(shí)應(yīng)盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量高效過(guò)濾系統(tǒng)能去除空氣中的有害物質(zhì),保障人員健康。杭州半導(dǎo)體潔凈室

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(二)非單向流無(wú)塵室/潔凈室(6-9萬(wàn)級(jí))6-9級(jí)無(wú)塵室/潔凈室的氣流組織方向和5級(jí)以上的潔凈室不同,室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng)的,伴有回流或渦流,它主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來(lái)實(shí)現(xiàn)凈化。不同的凈化等級(jí),主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現(xiàn)的。(三)無(wú)塵室/潔凈室基本工作原理:1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用氧化鋁型材制造2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果良好的阻燃型膠塑保溫棉。4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔5。凈化參數(shù)A換氣次數(shù):為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量,按表6.3.3中有關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算或按室內(nèi)發(fā)塵量進(jìn)行計(jì)算。B潔凈室溫度20-26℃,相對(duì)濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。無(wú)錫藥品潔凈室工業(yè)潔凈室的關(guān)鍵部位只要有一點(diǎn)灰塵就可能對(duì)產(chǎn)品造成較大的危害。

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光電顯示行業(yè):畫(huà)質(zhì)提升的秘密液晶面板、OLED屏幕等光電產(chǎn)品的生產(chǎn)對(duì)潔凈度高度敏感。中沃為某8.5代線面板廠設(shè)計(jì)的ISOClass4潔凈室,通過(guò)優(yōu)化風(fēng)道布局與氣流速度(0.45m/s±15%),將局部湍流強(qiáng)度降低至3%以下,使面板缺陷率從0.5%降至0.1%;同時(shí)采用防靜電PVC地板與無(wú)塵涂裝工藝,避免微塵吸附導(dǎo)致顯示亮點(diǎn)。項(xiàng)目投產(chǎn)后,客戶產(chǎn)品市占率躍居行業(yè)前? 三。食品與化妝品:安全與品質(zhì)的雙重守護(hù)潔凈室在食品與化妝品行業(yè)的應(yīng)用日益廣。中沃為嬰幼兒配方奶粉廠建造的ISOClass7潔凈室,通過(guò)正壓控制與高效過(guò)濾,將生產(chǎn)區(qū)微生物濃度控制在≤50CFU/m3,遠(yuǎn)低于國(guó)標(biāo)要求;在化妝品領(lǐng)域,ISOClass6潔凈室可防止膏霜產(chǎn)品因微生物污染導(dǎo)致變質(zhì),延長(zhǎng)保質(zhì)期。某乳企通過(guò)引入中沃潔凈室,產(chǎn)品抽檢合格率提升至99.9%,品牌口碑明顯增強(qiáng)。

新鮮空氣量潔凈室內(nèi)應(yīng)保持一定的新鮮空氣量,其數(shù)值應(yīng)取下列風(fēng)量中的最大值:①、非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10%-30%,單向流潔凈室總送風(fēng)量的2%-4%。②、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持正壓值所需的新鮮空氣量。③、保證室內(nèi)每個(gè)人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。其他標(biāo)準(zhǔn)說(shuō)明:①、無(wú)菌醫(yī)療器械管理規(guī)范(YY?0033—2000):十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)換氣次數(shù):ㄒ15次/h萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)換氣次數(shù):T20次/h。②體外診斷試劑實(shí)施細(xì)則:沒(méi)有具體規(guī)定,只規(guī)定了壓差范圍。③藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范:沒(méi)有規(guī)定,只規(guī)定了壓差范圍。④、⑤⑥潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范(GB50073-2001):十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)換氣次數(shù):10次/h-15次/h萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)換氣次數(shù):15次/h-25次/h。⑤、GMP驗(yàn)證指南建議:十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)換氣次數(shù):T15次/h萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)換氣次數(shù):T25次/h。⑥、生物污染控制(ISO14644)具體標(biāo)準(zhǔn)潔凈等級(jí)劃分:十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)換氣次數(shù):10次/h-15次/h萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)換氣次數(shù):15次/h-25次/h。生物潔凈室中有害微生物必須達(dá)到一定濃度才能造成危害。

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潔凈室要達(dá)到潔凈等級(jí),必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護(hù)管理等。其中空氣潔凈措施是實(shí)現(xiàn)潔凈等級(jí)的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項(xiàng)具體措施:(1)對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用高效或亞高效過(guò)濾器(潔凈級(jí)別低時(shí))作為終端過(guò)濾器,對(duì)進(jìn)入潔凈室的空氣,進(jìn)行一級(jí)過(guò)濾。為保護(hù)終端過(guò)濾器和延長(zhǎng)其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾。(2)根據(jù)潔凈室的等級(jí),合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū);盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū);氣流的流動(dòng)有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。例如,某半導(dǎo)體廠通過(guò)BA系統(tǒng)將潔凈室能耗從800kWh/m2·年降至500kWh/m2·年,年節(jié)省電費(fèi)超200萬(wàn)元。嘉興潔凈室廠房

墻面與地面材料通常選用彩鋼板或環(huán)氧樹(shù)脂自流平,前者表面覆有PVC膜,具有抗靜電、防腐蝕特性。杭州半導(dǎo)體潔凈室

在無(wú)塵車間潔凈廠房中一般會(huì)根據(jù)具體的集成電路精度、生產(chǎn)廠家要求的精度,常見(jiàn)的分為6個(gè)等級(jí),依次是一級(jí)、十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)。一級(jí):該級(jí)潔凈室主要用于微電子行業(yè)集成電路的制造,集成電路的精度要求為亞微米級(jí)。十級(jí):十級(jí)的無(wú)塵車間潔凈室,常見(jiàn)是用于半導(dǎo)體行業(yè)精度要求在2微米以內(nèi)的車間要求。百級(jí):一般到了百級(jí)無(wú)塵車間的這個(gè)程度,公認(rèn)的是比較常用的一種無(wú)塵潔凈室,因此比較重要。但這個(gè)不等于是可以代替無(wú)菌制造需求的廠房,也不能用于制藥行業(yè)等。只是這種潔凈室更多的用于內(nèi)部物體等植入物的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造以及隔離對(duì)受細(xì)菌影響特別敏感的患者的醫(yī)治和護(hù)理養(yǎng)護(hù),如骨髓移植后患者的隔離等。杭州半導(dǎo)體潔凈室