2.應用在汽車電子應用在汽車中的MEMS傳感器MEMS壓力傳感器主要應用在測量氣囊壓力、燃油壓力、發(fā)動機機油壓力、進氣管道壓力及輪胎壓力。這種傳感器用單晶硅作材料，以采用MEMS技術在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴散雜質形成四只應變電阻，再以惠斯頓電橋方式將應變電阻連接成電路，來獲得高靈敏度。車用MEMS壓力傳感器有電容式、壓阻式、差動變壓器式、聲表面波式等幾種常見的形式。而MEMS加速度計的原理是基于牛頓的經(jīng)典力學定律，通常由懸掛系統(tǒng)和檢測質量組成，通過微硅質量塊的偏移實現(xiàn)對加速度的檢測，主要用于汽車安全氣囊系統(tǒng)、防滑系統(tǒng)、汽車導航系統(tǒng)和防盜系統(tǒng)等，除了有電容式、壓阻式以外，MEMS加速度計還有壓電式、隧道電流型、諧振式和熱電偶式等形式。經(jīng)目標反射后激光向各方向散射。閔行區(qū)挑選傳感器設計

酸、堿、鹽酸、堿、鹽濃度傳感器通過測量溶液電導值來確定濃度。它可以在線連續(xù)檢測工業(yè)過程中酸、堿、鹽在水溶液中的濃度含量。這種傳感器主要應用于鍋爐給水處理、化工溶液的配制以及環(huán)保等工業(yè)生產(chǎn)過程。酸、堿、鹽濃度傳感器的工作原理是：在一定的范圍內，酸堿溶液的濃度與其電導率的大小成比例。因而，只要測出溶液電導率的大小變可得知酸堿濃度的高低。當被測溶液流入**電導池時，如果忽略電極極化和分布電容，則可以等效為一個純電阻。在有恒壓交變電流流過時，其輸出電流與電導率成線性關系，而電導率又與溶液中酸、堿濃度成比例關系。因此只要測出溶液電流，便可算出酸、堿、鹽的濃度。崇明區(qū)出口傳感器哪里買激光傳感器工作時，先由激光發(fā)射二極管對準目標發(fā)射激光脈沖。

MEMS傳感器是MEMS器件的一個重要分支，作為微機電系統(tǒng)的重要組成部分，MEMS傳感器是實現(xiàn)微機電系統(tǒng)感知和信號處理的功能器件。這種傳感器采用MEMS制造技術，即微電子制造技術和微機械加工制造技術，其材料、工作原理、制作工藝等方面與傳統(tǒng)傳感器有相當大的區(qū)別。 [4]MEMS傳感器是基于其敏感材料的特殊效應工作的，它的制作工藝結合當今先進的IC微電子加工工藝和MEMS微機械加工制造工藝來實現(xiàn)，通過對材料的微機械加工，制造出可感受壓力、溫度、磁場、加速度等各種參數(shù)的穩(wěn)定的結構器件(如梁、膜、叉指等單一或復合的結構)，從而實現(xiàn)對各種相關參數(shù)的感知、測試和轉換

國內在微加速度傳感器的研制方面也作了大量的工作，如西安電子科技大學研制的壓阻式微加速度傳感器和清華大學微電子所開發(fā)的諧振式微加速度傳感器。后者采用電阻熱激勵、壓阻電橋檢測的方式，其敏感結構為高度對稱的4角支撐質量塊形式，在質量塊4邊與支撐框架之間制作了4個諧振梁用于信號檢測。3、微機械陀螺角速度一般是用陀螺儀來進行測量的。傳統(tǒng)的陀螺儀是利用高速轉動的物體具有保持其角動量的特性來測量角速度的。這種陀螺儀的精度很高，但它的結構復雜，使用壽命短，成本高，一般*用于導航方面，而難以在一般的運動控制系統(tǒng)中應用。實際上，如果不是受成本限制，角速度傳感器可在諸如汽車牽引控制系統(tǒng)、攝象機的穩(wěn)定系統(tǒng)、醫(yī)用儀器、***儀器、運動機械、計算機慣性鼠標、***等領域有廣泛的應用前景。常見的微機械角速度傳感器有雙平衡環(huán)結構，懸臂梁結構、音叉結構、振動環(huán)結構等。但是，實現(xiàn)的微機械陀螺的精度還不到10°/h，離慣性導航系統(tǒng)所需的0.1°/h相差尚遠。線性型霍爾傳感器由霍爾元件、線性放大器和射極跟隨器組成，它輸出模擬量。

電阻應變式傳感器中的電阻應變片具有金屬的應變效應，即在外力作用下產(chǎn)生機械形變，從而使電阻值隨之發(fā)生相應的變化。電阻應變片主要有金屬和半導體兩類，金屬應變片有金屬絲式、箔式、薄膜式之分。半導體應變片具有靈敏度高（通常是絲式、箔式的幾十倍）、橫向效應小等優(yōu)點。壓阻式壓阻式傳感器是根據(jù)半導體材料的壓阻效應在半導體材料的基片上經(jīng)擴散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測量傳感元件，擴散電阻在基片內接成電橋形式。當基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時，各電阻值將發(fā)生變化，電橋就會產(chǎn)生相應的不平衡輸出?；魻栃茄芯堪雽w材料性能的基本方法。長寧區(qū)智能傳感器廠家現(xiàn)貨

生物類，基于酶、抗體、等分子識別功能。閔行區(qū)挑選傳感器設計

壓力壓力傳感器引是工業(yè)實踐中**為常用的一種傳感器，其廣泛應用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、**、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業(yè)。超聲波測距離超聲波測距離傳感器采用超聲波回波測距原理，運用精確的時差測量技術，檢測傳感器與目標物之間的距離，采用小角度，小盲區(qū)超聲波傳感器，具有測量準確，無接觸，防水，防腐蝕，低成本等優(yōu)點，可應于液位，物位檢測，特有的液位，料位檢測方式，可保證在液面有泡沫或大的晃動，不易檢測到回波的情況下有穩(wěn)定的輸出，應用行業(yè)：液位，物位，料位檢測，工業(yè)過程控制等。閔行區(qū)挑選傳感器設計

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