主營(yíng)產(chǎn)品: 微納加工技術(shù)服務(wù)|真空鍍膜技術(shù)服務(wù)|紫外光刻技術(shù)服務(wù)|材料刻蝕技術(shù)服務(wù)
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深硅刻蝕設(shè)備是一種用于在硅片上制作深度和高方面比的孔或溝槽的設(shè)備,它利用化學(xué)氣相沉積(CVD)和等離子體輔助刻蝕(PAE)的原理,交替進(jìn)行刻...
磁存儲(chǔ)芯片制造中,離子束刻蝕的變革性價(jià)值在于解決磁隧道結(jié)側(cè)壁氧化的世界難題。通過(guò)開(kāi)發(fā)動(dòng)態(tài)傾角刻蝕工藝,在磁性多層膜加工中建立自保護(hù)界面機(jī)制,...
在半導(dǎo)體制造這一高科技領(lǐng)域中,光刻技術(shù)無(wú)疑扮演著舉足輕重的角色。作為制造半導(dǎo)體芯片的關(guān)鍵步驟,光刻技術(shù)不但決定了芯片的性能、復(fù)雜度和生產(chǎn)成本...
氮化鎵(GaN)材料作為第三代半導(dǎo)體材料的象征之一,具有普遍的應(yīng)用前景。在氮化鎵材料刻蝕過(guò)程中,需要精確控制刻蝕深度、刻蝕速率和刻蝕形狀等參...
廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺(tái),面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,致力于打造公益性、開(kāi)放性、支撐性樞紐中心。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,加工尺寸覆蓋2-6英寸(部分8英寸),同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍。平臺(tái)當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),面向國(guó)內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開(kāi)放共享,為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。