致晟光電熱紅外顯微鏡采用高性能InSb(銦銻)探測(cè)器,用于中波紅外波段(3–5 μm)的熱輻射信號(hào)捕捉。InSb材料具有優(yōu)異的光電轉(zhuǎn)換效率和極低的本征噪聲,在制冷條件下可實(shí)現(xiàn)高達(dá)nW級(jí)的熱靈敏度和優(yōu)于20mK的溫度分辨率,適用于高精度、非接觸式熱成像分析。該探測(cè)器在熱紅外顯微系統(tǒng)中的應(yīng)用,提升了空間分辨率(可達(dá)微米量級(jí))與溫度響應(yīng)線性度,使其能夠?qū)Π雽?dǎo)體器件、微電子系統(tǒng)中的局部發(fā)熱缺陷、熱點(diǎn)遷移和瞬態(tài)熱行為進(jìn)行精細(xì)刻畫(huà)。配合致晟光電自主開(kāi)發(fā)的高數(shù)值孔徑光學(xué)系統(tǒng)與穩(wěn)態(tài)熱控平臺(tái),InSb探測(cè)器可在多物理場(chǎng)耦合背景下實(shí)現(xiàn)高時(shí)空分辨的熱場(chǎng)成像,是先進(jìn)電子器件失效分析、電熱耦合行為研究及材料熱特性評(píng)價(jià)中的關(guān)鍵。電激勵(lì)模式多樣,適配鎖相熱成像系統(tǒng)不同需求。無(wú)損鎖相紅外熱成像系統(tǒng)批量定制
ThermalEMMI(熱紅外顯微鏡)是一種先進(jìn)的非破壞性檢測(cè)技術(shù),主要用于精細(xì)定位電子設(shè)備中的熱點(diǎn)區(qū)域,這些區(qū)域通常與潛在的故障、缺陷或性能問(wèn)題密切相關(guān)。該技術(shù)可在不破壞被測(cè)對(duì)象的前提下,捕捉電子元件在工作狀態(tài)下釋放的熱輻射與光信號(hào),為工程師提供關(guān)鍵的故障診斷線索和性能分析依據(jù)。在諸如復(fù)雜集成電路、高性能半導(dǎo)體器件以及精密印制電路板(PCB)等電子組件中,ThermalEMMI能夠快速識(shí)別出異常發(fā)熱或發(fā)光的區(qū)域,幫助工程師迅速定位問(wèn)題根源,從而及時(shí)采取有效的維修或優(yōu)化措施。高分辨率鎖相紅外熱成像系統(tǒng)訂制價(jià)格利用鎖相放大器或相關(guān)算法,將熱像序列中每個(gè)像素的溫度信號(hào)與激勵(lì)參考信號(hào)進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算得到振幅與相位。
在當(dāng)今高科技蓬勃發(fā)展的時(shí)代,鎖相紅外熱成像系統(tǒng)也成其為“RTTLIT"以其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì),正逐漸成為紅外檢測(cè)領(lǐng)域的新寵。該系統(tǒng)采用先進(jìn)的鎖相技術(shù),能夠捕捉目標(biāo)物體的微小溫度變化,為各行業(yè)提供前所未有的熱成像解決方案。鎖相紅外熱成像系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)在于其高靈敏度和高分辨率的熱成像能力。無(wú)論是在復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境中,還是在精密的科研實(shí)驗(yàn)中,該系統(tǒng)都能以超凡的性能,準(zhǔn)確快速地識(shí)別出熱異常,從而幫助用戶及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題,有效預(yù)防潛在風(fēng)險(xiǎn)。
鎖相熱成像系統(tǒng)是一種將光學(xué)成像技術(shù)與鎖相技術(shù)深度融合的先進(jìn)無(wú)損檢測(cè)設(shè)備,其工作原理頗具科學(xué)性。它首先通過(guò)特定的周期性熱源對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行激勵(lì),這種激勵(lì)可以是光、電、聲等多種形式,隨后利用高靈敏度的紅外相機(jī)持續(xù)捕捉物體表面因熱激勵(lì)產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化。關(guān)鍵在于,系統(tǒng)能夠借助鎖相技術(shù)從繁雜的背景噪聲中提取出與熱源頻率相同的信號(hào),這一過(guò)程如同在嘈雜的環(huán)境中捕捉到特定頻率的聲音,極大地提升了檢測(cè)的靈敏度。即便是物體內(nèi)部微小的缺陷,如材料中的細(xì)微裂紋、分層等,也能被清晰識(shí)別。憑借這一特性,它在材料科學(xué)領(lǐng)域可用于研究材料的熱性能和結(jié)構(gòu)完整性,在電子工業(yè)中能檢測(cè)電子元件的潛在故障,應(yīng)用場(chǎng)景十分重要。高靈敏度鎖相熱成像技術(shù)能夠檢測(cè)到極微小的熱信號(hào),可檢測(cè)低至uA級(jí)漏電流或微短路缺陷。
鎖相熱成像系統(tǒng)與電激勵(lì)結(jié)合,為電子產(chǎn)業(yè)的傳感器芯片檢測(cè)提供了可靠保障,確保傳感器芯片能夠滿足各領(lǐng)域?qū)Ω呔葯z測(cè)的需求。傳感器芯片是獲取外界信息的關(guān)鍵部件,廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化、醫(yī)療診斷、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域,其精度和可靠性至關(guān)重要。傳感器芯片內(nèi)部的敏感元件、信號(hào)處理電路等若存在缺陷,如敏感元件的零點(diǎn)漂移、電路的噪聲過(guò)大等,會(huì)嚴(yán)重影響傳感器的檢測(cè)精度。通過(guò)對(duì)傳感器芯片施加電激勵(lì),使其處于工作狀態(tài),系統(tǒng)能夠檢測(cè)芯片表面的溫度變化,發(fā)現(xiàn)敏感區(qū)域的缺陷。例如,在檢測(cè)紅外溫度傳感器芯片時(shí),系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)因敏感元件材料不均導(dǎo)致的溫度檢測(cè)偏差;在檢測(cè)壓力傳感器芯片時(shí),能夠識(shí)別出因應(yīng)變片粘貼不良導(dǎo)致的信號(hào)失真。通過(guò)篩選出無(wú)缺陷的傳感器芯片,提升了電子產(chǎn)業(yè)傳感器產(chǎn)品的質(zhì)量,滿足了各領(lǐng)域?qū)鞲衅鞯母呔刃枨?。紅外熱成像模塊功能是實(shí)時(shí)采集被測(cè)物體表面的紅外輻射信號(hào),轉(zhuǎn)化為隨時(shí)間變化的溫度分布圖像序列。自銷鎖相紅外熱成像系統(tǒng)emmi
高靈敏度紅外相機(jī)( mK 級(jí)),需滿足高幀率(至少為激勵(lì)頻率的 2 倍,遵循采樣定理)以捕捉周期性溫度變化。無(wú)損鎖相紅外熱成像系統(tǒng)批量定制
光束誘導(dǎo)電阻變化(OBIRCH)功能與微光顯微鏡(EMMI)技術(shù)常被集成于同一檢測(cè)系統(tǒng),合稱為光發(fā)射顯微鏡(PEM,PhotoEmissionMicroscope)。二者在原理與應(yīng)用上形成巧妙互補(bǔ),能夠協(xié)同應(yīng)對(duì)集成電路中絕大多數(shù)失效模式,大幅提升失效分析的全面性與效率。OBIRCH技術(shù)的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)在于,即便失效點(diǎn)被金屬層覆蓋形成“熱點(diǎn)”,其仍能通過(guò)光束照射引發(fā)的電阻變化特性實(shí)現(xiàn)精細(xì)檢測(cè)——這恰好彌補(bǔ)了EMMI在金屬遮擋區(qū)域光信號(hào)捕捉受限的不足。無(wú)損鎖相紅外熱成像系統(tǒng)批量定制